반도체 기초이론 및 장비의 이해 교육
(이론으로 진행)
1. 교육일정
1차: 2025.07.21.(월) 10:00-12:00 / 13:00-15:00 (4시간)
- 진공의 이해와 진공펌프 및 게이지의 원리와 종류 이해
- 크린룸의 구성
- 플라즈마와 이의 활용
2차: 2025.07.22.(화) 10:00-12:00 / 13:00-15:00 (4시간)
- 반도체 공정장비의 종류 및 원리
- 반도체 분석장비의 종류 및 원리
2. 교육장소
N3동 202호
3. 초청강사
한국교통대학교 임동건 교수
책임교수: 최원석 교수
4. 주관부서
반도체특성화교육연구소